存储芯片是半导体产业的迫切构成部分，亦然国内芯片产业的短板之一。现在，国内存储厂商在闪存芯片的本事水谦恭市集份额上仍然过时于国外最初厂商。可是澳门六合彩现金网，近日，东京电子（TEL）告示开荒出一种用于存储芯片的通孔蚀刻本事，可用于制造 400 层以上堆叠的 3D NAND 闪存芯片。这项本事是否能为国内存储厂商带来机遇和挑战呢？

东京电子的全新蚀刻本事

东京电子是公共最大的半导体刻蚀设立供应商之一，其居品掩饰了多样类型的刻蚀设立，包括 CCP、ICP、DRIE 等。刻蚀设立是半导体制造历程中不行或缺的器用，它不错在晶圆名义形成所需的图案和结构。

东京电子近日告示，已开荒出一种用于存储芯片的通孔蚀刻本事，可用于制造 400 层以上堆叠的 3D NAND 闪存芯片。3D NAND 闪存芯片是现在开头进的闪存本事之一，它通过在晶圆上垂直堆叠多层单位来提高容量和性能。

东京电子暗意，该本事初度将电蚀刻专揽带入到低温范围中，并创造性地发明了具有极高蚀刻速度的系统。具体而言，这项新本事不错在短短 33 分钟内完成 10 微米深度的高纵横比（纵横比是指晶圆上形成图案的深度与宽度之比）蚀刻澳门六合彩现金网，与此前的本事比拟耗时大幅镌汰。

TEL 先容，该本事的专揽不仅有助于制造更高容量的 3D NAND，还无意将坐褥工艺中给公共变暖形成的风险减少 84%。TEL 预报，研发团队将于 6 月 11 日-16 日在日本京王人举行的 2023 年超大范围集成电路本事和工艺沟通会上发布最新戒指和论述。

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国内存储厂商的近况和瞻望

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国内存储厂商在闪存芯片边界起步较晚澳门六合彩现金网，现在仍然处于追逐阶段。据 CINNO 数据闪现，2021 年第一季度，国内 NAND 闪存市集份额名次前五位的厂商区别为：三星（41.4%）、西部数据（19.8%）、英特尔（13.9%）、SK 海力士（12.5%）和 Kioxia（7.6%）。国内厂商中，长江存储的市集份额为 2.9%，位居第六位，紫光存储的市集份额为 0.3%，位居第九位。

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国内存储厂商在本事水平上也与国外最初厂商存在差距。现在，国内厂商主要取舍 64 层或 128 层的 3D NAND 本事，而国外厂商依然推出了 176 层或 192 层的 3D NAND 本事，并正在研发更高层数的 3D NAND 本事。此外，国内厂商在闪存芯片的踏实性、可靠性、性能等方面也有待晋升。

可是，国内存储厂商也在不断加大研发进入和产能延伸，辛劳削弱与国外最初厂商的差距。据悉，长江存储依然运转量产 128 层的 3D NAND 闪存芯片，并权术在本年下半年推出 176 层的 3D NAND 闪存芯片。紫光存储也依然运转量产 64 层的 3D NAND 闪存芯片，并权术在本年底推出 128 层的 3D NAND 闪存芯片。此外，中微公司行动国内独逐个家领有自主刻蚀设立本事的企业，也在不断晋升其居品的性能和踏实性，为国内存储厂商提供更好的刻蚀设立责罚决策。

小结

东京电子开荒出全新蚀刻本事，可用于制造 400 层以上堆叠的 3D NAND 闪存芯片，这是半导体刻蚀设立边界的一项首要冲破，亦然闪存芯片本事发展的一次迫切鞭策。关于国内存储厂商来说，这项本事既是机遇又是挑战。机遇在于，如若无意实时引进和掌执这项本事，就有可能扫尾本事越过和杰出，提高自己在闪存芯片市集的竞争力和影响力。挑战在于，如若不无意实时引进和掌执这项本事，就有可能被国外最初厂商拉开更大的差距，失去更多的市集份额和利润空间。因此，国内存储厂商应该收拢此次机遇，加速本事立异和产业升级，迎来冲破和发展。

（图片来自齐集，侵删）